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标题
Dependence of photoresist dissolution dynamics in alkaline developers on alkyl chain length of tetraalkylammonium hydroxide
碱性显影剂中光刻胶溶解动力学对四烷基氢氧化铵烷基链长的依赖性
相关领域
光刻胶 四甲基氢氧化铵 溶解 氢氧化物 极紫外光刻 化学工程 石英晶体微天平 烷基 四丁基氢氧化铵 化学 平版印刷术 材料科学 抵抗 光刻 无机化学 纳米技术 有机化学 吸附 光电子学 图层（电子） 工程类
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac61f2
DOI
10.35848/1347-4065/ac61f2 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Masahiko Harumoto; Julius Joseph Santillan; Toshiro Itani; Takahiro Kozawa
出版日期：2022-03-29
求助人
TianBa123 在 2025-05-20 10:04:06 发布自广东，悬赏 10 积分
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