Effect of bias voltage on the growth of super-hard (AlCrTiVZr)N high-entropy alloy nitride films synthesized by high power impulse magnetron sputtering

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标题	Effect of bias voltage on the growth of super-hard (AlCrTiVZr)N high-entropy alloy nitride films synthesized by high power impulse magnetron sputtering
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150417
DOI	10.1016/j.apsusc.2021.150417 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Yi Xu; Guodong Li; Guang Li; Fangyuan Gao; Xia Yuan 出版日期：2021-06-19
求助人	粉蒸肉在 2026-07-08 19:16:08 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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