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 Heat-assisted chemical mechanical polishing of polycrystalline AlN: thermochemical surface regulation for damage-free planarization 相关领域
化学机械平面化
材料科学
抛光
微晶
表面粗糙度
无定形固体
表面改性
热稳定性
复合材料
磨料
溶解
化学键
表面光洁度
热的
化学工程
表层
Crystal（编程语言）
半导体
表面能
热膨胀
表面扩散
相（物质）
机械化学
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| 其它 |
期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Jinming Li; Tianyi Sui; Bingrui Lv; Xingwang Xu; Haoxuan Du; et al 出版日期：2026-06-01 |
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