Tailoring CeO₂ abrasive morphology and crystal facets for enhanced chemical mechanical polishing of SiO₂

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标题	Tailoring CeO₂ abrasive morphology and crystal facets for enhanced chemical mechanical polishing of SiO₂
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0301679X2...
DOI	10.1016/j.triboint.2026.112320 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Yong-Xin Wang; Yunhui Shi; Jiabao Cheng; Yao Xu; Yi-Zhan Wang; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	超级寒凝在 2026-09-21 19:16:46 发布自山东，悬赏 10 积分
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