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标题
The sputtering of SiO2 and its dependence on oxygen partial pressure
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0168583X93...
DOI
10.1016/0168-583x(93)96031-7 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
作者：H. Jacobsson; G. Holmén
出版日期：1993-07-02
求助人
奋斗梦旋 在 2026-10-08 18:34:10 发布自广东，悬赏 10 积分
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