Porous AlN films grown on C-face SiC by hydride vapor phase epitaxy

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标题	Porous AlN films grown on C-face SiC by hydride vapor phase epitaxy
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/ac597e
DOI	10.1088/1674-1056/ac597e doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Jiafan Chen; Jun Huang; Didi Li; Ke Xu 出版日期：2022-03-02
求助人	CC 在 2026-09-29 20:44:07 发布自德国，悬赏 10 积分
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