Enhancement of Piezoelectric Response in Scandium Aluminum Nitride Alloy Thin Films Prepared by Dual Reactive Cosputtering

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标题	Enhancement of Piezoelectric Response in Scandium Aluminum Nitride Alloy Thin Films Prepared by Dual Reactive Cosputtering
网址	https://doi.org/10.1002/adma.200802611
DOI	10.1002/adma.200802611 doi
其它	期刊：Advanced Materials 作者：Morito Akiyama; Toshihiro Kamohara; Kazuhiko Kano; Akihiko Teshigahara; Yukihiro Takeuchi; et al 出版日期：2008-12-02
求助人	shining 在 2026-10-16 13:30:47 发布自湖北，悬赏 10 积分
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