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[高分] Low-loss singlemode amorphous silicon waveguides
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材料科学 光学 多模光纤 硅 化学气相沉积 波长 光电子学 蚀刻(微加工) 非晶硅 等离子体刻蚀 无定形固体 山脊 光纤 晶体硅 化学 复合材料 古生物学 生物 物理 图层(电子) 有机化学
网址
DOI
10.1049/el:20052387 doi
其它 期刊:Electronics Letters
作者:A. Harke; M. Krause; J. Mueller
出版日期:2005-12-08
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