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 Fabrication of large area 100 nm pitch grating by spatial frequency doubling and nanoimprint lithography for subwavelength optical applications 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Zhaoning Yu; Wei Wu; Lei Chen; Stephen Y. Chou 出版日期：2001-11-01 |
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