Wavelength-specific reflections: A decade of extreme ultraviolet actinic mask inspection research

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标题	Wavelength-specific reflections: A decade of extreme ultraviolet actinic mask inspection research
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/28/6/C6E1/13501531/...
DOI	10.1116/1.3498757 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者：K. Goldberg; I. Mochi 出版日期：2010-11-18
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