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标题
Plasma emission spectroscopy and optical properties of reactive-sputtered silicon oxynitride films
相关领域
氮化硅 材料科学 等离子体 光谱学 硅 溅射 光电子学 薄膜 纳米技术 氮化硅 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/ad3d6a
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1088/1361-6463/ad3d6a doi
其它 期刊：Journal of Physics D Applied Physics
作者：Raymundo Rodríguez-López; N. Abundiz-Cisneros; R. Sanginés; J. Águila-Muñoz; R. Machorro-Mejía
出版日期：2024-04-11
求助人
彩霞街有才的莲藕 在 2026-01-11 08:06:06 发布自贵州，悬赏 10 积分
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