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 Characteristics of a hybrid radio frequency capacitively and inductively coupled plasma using hydrogen gas 氢气混合射频电容和电感耦合等离子体的特性
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Yasunori Ohtsu; Tatsuo Tabaru; Julian Schulze 出版日期：2024-07-01 |
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