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 Machine Learning-Based Damage Predicion Method for the Micro/Nano Structures Fabricated by Helium Focused Ion Beam 基于机器学习的氦聚焦离子束微纳结构损伤预测方法
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期刊：2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) 作者：Qianhuang Chen; Tianyang Shao; Yan Xing; Zaifa Zhou 出版日期：2021-08-07 |
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