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 Electrical properties, microstructure, and thermal stability of Ta-based ohmic contacts annealed at low temperature for GaN HEMTs 相关领域
欧姆接触
材料科学
微观结构
氮化镓
高电子迁移率晶体管
扫描电子显微镜
异质结
光电子学
外延
退火（玻璃）
接触电阻
热稳定性
晶体管
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图层（电子）
化学
电气工程
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有机化学
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Anna Malmros; H. Blanck; Niklas Rorsman 出版日期：2011-03-31 |
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