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Electrical properties, microstructure, and thermal stability of Ta-based ohmic contacts annealed at low temperature for GaN HEMTs 相关领域
欧姆接触
材料科学
微观结构
氮化镓
高电子迁移率晶体管
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期刊:Semiconductor Science and Technology 作者:Anna Malmros; H. Blanck; Niklas Rorsman 出版日期:2011-03-31 |
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