MEMS Materials and Processes Handbook

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标题	[高分] 书籍 MEMS Materials and Processes Handbook MEMS材料与工艺手册相关领域微电子机械系统材料科学工程类纳米技术
网址	https://doi.org/10.1007/978-0-387-47318-5
DOI	10.1007/978-0-387-47318-5 doi
其它	期刊：MEMS reference Shelf 作者：Reza Ghodssi; Pinyen Lin 出版日期：2011-01-01
求助人	LGH 在 2024-03-13 16:02:57 发布自安徽，悬赏 200 积分
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