Effect of NH3 flow rate to titanium nitride as etch hard mask in thermal atomic layer deposition - 科研通

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标题	Effect of NH3 flow rate to titanium nitride as etch hard mask in thermal atomic layer deposition NH3流量对热原子层沉积氮化钛蚀刻硬掩模的影响相关领域原子层沉积材料科学图层（电子）氮化钛沉积（地质）氮化物热的体积流量钛光电子学复合材料冶金机械热力学地质学物理古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003862
DOI	10.1116/6.0003862 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Sang Jeen Hong; Sang Jeen Hong 出版日期：2024-09-13
求助人	yukkii 在 2025-02-24 15:16:10 发布自湖北，悬赏 10 积分
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