发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Photoresist Spray Coating for Resist Film Performance of Deep Silicon Cavities
用于深硅腔抗蚀膜性能的光刻胶喷涂
相关领域
光刻胶 抵抗 材料科学 涂层 硅 纳米技术 复合材料 光电子学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.50.1947
DOI
10.3938/jkps.50.1947 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Duk-Soo Eun; Do-Wok Kim; Chang-Taeg Seo; Jong‐Hyun Lee; Young-Ho Bae; et al
出版日期：2007-06-15
求助人
yyyn 在 2025-10-27 09:07:55 发布自天津，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Tuning of resist slope with hard-baking parameters and release methods of extra hard photoresist for...
  2. Development of low-fluorescence thick photoresist for high-aspect-ratio microstructure in bio-applic...
  3. Resist profile modeling with compact resist model
  4. Dependence of the quality of thick resist structures on resist baking
  5. Photoresist Damage in Reactive Ion Etching Processes
  6. Double‐layer resist method to improve descum result when removing negative photoresist
  7. A Generalized Dill Exposure Model for Negative Thick Photoresist
  8. The high resolution resists.
  9. Photoresist defect diagnosis using a rigorous topography simulator
  10. <title>Electron Beam Resist And Photoresist Behavior Of Polychrome Positive Resist</title>
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 11小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:07:59 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:07:56 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    09:07:55 已向机器人发送请求

  • 11小时前

    yyyn yyyn Lv5 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
begonia2021发布了新的文献求助10
1秒前
Dampfish发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
2秒前
虞紫山发布了新的文献求助10
2秒前
白读书的应助被天梦星玄采纳，获得20
3秒前
海晨发布了新的文献求助10
3秒前
37发布了新的文献求助30
4秒前
充电宝的应助被123采纳，获得10
4秒前
科研通AI5的应助被林晓宇采纳，获得10
5秒前
彳亍1117的应助被iebix采纳，获得20
5秒前
5秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
5秒前
浮游的应助被顺利的夜梦采纳，获得10
6秒前
科研通AI5的应助被瘪瘪采纳，获得10
6秒前
6秒前
善良谷蓝完成签到 ，获得积分10
7秒前
7秒前
8秒前
Dampfish完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
9秒前
puppy发布了新的文献求助10
9秒前
宋叻叻完成签到，获得积分10
9秒前
10秒前
10秒前
10秒前
11秒前
火画完成签到，获得积分10
11秒前
小马甲的应助被肉肉采纳，获得10
11秒前
乏善可陈发布了新的文献求助10
11秒前
大个的应助被缓慢凤凰采纳，获得10
11秒前
12秒前
upsoar发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
13秒前
小草完成签到，获得积分10
13秒前
赵昱筱发布了新的文献求助10
13秒前
科研通AI6的应助被张同学采纳，获得10
13秒前
14秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4992489
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4240568
关于积分的说明 13211466
捐赠科研通 4035698
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2208071
邀请新用户注册赠送积分活动 1219060
关于科研通互助平台的介绍 1137317
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通