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标题
Modeling diffusion and depletion in high-aspect-ratio atomic layer deposition processes: Process parameters and manufacturing impacts
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0004702
DOI
10.1116/6.0004702 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Victor A. Vogt; Andrew J. Gayle; Andrés Miranda Mañón; Andrej Lenert; Neil P. Dasgupta
出版日期：2025-09-17
求助人
支雨泽 在 2025-11-14 13:41:58 发布自山东，悬赏 30 积分
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