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 Effects of boron doping on the surface modification and defect evolution of silicon induced by proton implantation and annealing 硼掺杂对质子注入和退火诱导硅表面改性和缺陷演化的影响
相关领域
硼
退火（玻璃）
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物理
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期刊：Applied Surface Science 作者：Zeyuan Chen; Minghuan Cui; Jing‐Feng Li; Peng Jin; Yiqihui Lan; et al 出版日期：2024-05-26 |
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糊涂的白梦
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