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 Interpolation and difference optimized machine learning model for accurate prediction of silicon etching depth with small sample dataset 小样本数据集精确预测硅刻蚀深度的插值和差分优化机器学习模型
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Ye Yang; Yang Xu 出版日期：2023-08-30 |
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