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 Development of silicon interposers with embedded microchannels and metal re-distribution layer for the integration of hybrid detector systems 用于集成混合探测器系统的具有嵌入式微通道和金属再分布层的硅中介层的开发
相关领域
材料科学
图层（电子）
硅
探测器
光电子学
金属
纳米技术
冶金
电气工程
工程类
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A Accelerators Spectrometers Detectors and Associated Equipment 作者：M. Ullán; Jonathan Correa‐Puerta; Vainius Dauderys; Sergio Cañas Díez; Marta Duch; et al 出版日期：2024-06-07 |
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