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![]() 用于激光束整形和束整形的基于MEMS的动态线性(1D)扩散器
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期刊:SPIE Proceedings 作者:J. Masson; A. Bich; W. Noell; R. Voelkel; K. J. Weible; N. F. De Rooij 出版日期:2009-08-20 |
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