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标题
Development of a porous patterned membrane with a large field size for EUV pellicles
EUV薄膜用大视场尺寸多孔图案化膜的研制
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1117/12.3033641
DOI
10.1117/12.3033641 doi
其它 期刊：
作者：Tae Joong Ha; Gi-Sung Lee; Haneul Kim; Jung-Yeon Kim; Jinho Ahn
出版日期：2024-09-24
求助人
hyelachan 在 2025-05-29 17:35:04 发布自重庆，悬赏 20 积分
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