Corrosion control of copper wiring by barrier CMP slurry containing azole inhibitor: Combination of simulation and experiment

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标题	Corrosion control of copper wiring by barrier CMP slurry containing azole inhibitor: Combination of simulation and experiment
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092777572...
DOI	10.1016/j.colsurfa.2020.124872 doi
其它	期刊：Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Tengda Ma; Baimei Tan; Yi Xu; Da Yin; Guorui Liu; et al 出版日期：2020-04-21
求助人	fayi 在 2026-08-31 15:01:23 发布自上海，悬赏 10 积分
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