First Large-Scale (68 × 25 × 5 nm3) Atomistic Modeling for Accurate and Efficient Etching Process Based on Machine Learning Molecular Dynamics (MLMD) - 科研通

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标题	First Large-Scale (68 × 25 × 5 nm3) Atomistic Modeling for Accurate and Efficient Etching Process Based on Machine Learning Molecular Dynamics (MLMD)
网址	https://doi.org/10.1109/iedm50854.2024.10873391
DOI	10.1109/iedm50854.2024.10873391 doi
其它	期刊：作者：Zemeng Feng; Ziyi Hu; Tong Yu; Panpan Lai; Rui Ge; et al 出版日期：2024-12-07
求助人	Atlantis 在 2026-07-22 12:33:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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