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标题
Evaluation of next generation EUV lithography wavelengths from material property perspectives
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.25.4.041804
DOI
10.1117/1.jmm.25.4.041804 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
作者：Bruce W. Smith
出版日期：2026-08-19
求助人
火火 在 2026-08-28 15:00:26 发布自中国，悬赏 20 积分
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