Plasma-relaxation-assisted atomic layer deposition of ultralow-k amorphous boron nitride with enhanced ambient stability

已完结

文献求助详情

标题	Plasma-relaxation-assisted atomic layer deposition of ultralow-k amorphous boron nitride with enhanced ambient stability
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2026.111027 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Inkyu Sohn; Jeongwoo Seo; Taehoon Kim; Minji Kim; Jisang Yoo; et al 出版日期：2026-11-01
求助人	ADChem_JH 在 2026-09-19 15:34:13 发布自安徽，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

American Society of Civil Engineers (ASCE)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 粗心的烨伟完成签到，获得积分10

1秒前; null上传了应助文件

5秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

9秒前; yyyy发布了新的文献求助10

18秒前; 沉默怡完成签到，获得积分10

21秒前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

28秒前; CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10

28秒前; 小二郎的应助被周亚平采纳，获得10

40秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

46秒前; 小二郎上传了应助文件

47秒前; 周亚平发布了新的文献求助10

52秒前; 优秀寒松发布了新的文献求助10

54秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

54秒前; 高兴溪流发布了新的文献求助10

1分钟前; 开朗含海完成签到，获得积分10

1分钟前; 搞怪的萧完成签到，获得积分10

1分钟前; null上传了应助文件

1分钟前; 沛蓁完成签到，获得积分10

1分钟前; 李健的小迷弟上传了应助文件

1分钟前; 高兴溪流完成签到，获得积分20

1分钟前; 文艺的老姆完成签到，获得积分10

1分钟前; 野猪林完成签到，获得积分20

1分钟前; 野猪林发布了新的文献求助10

1分钟前; gszy1975完成签到，获得积分10

1分钟前; 香蕉觅云的应助被null采纳，获得10

1分钟前; 壮观幻波完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被yyyy采纳，获得30

1分钟前; null上传了应助文件

2分钟前; 清新的雨文完成签到，获得积分10

2分钟前; 华仔的应助被李春宇采纳，获得10

2分钟前; 李春宇关闭了李春宇的文献求助

2分钟前; 深情的从丹完成签到，获得积分10

2分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 李春宇关闭了李春宇的文献求助

2分钟前; 无花果的应助被mmyhn采纳，获得10

2分钟前; 失眠紫完成签到，获得积分10

2分钟前; 称心的随阴完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

2分钟前; yyyy发布了新的文献求助30

3分钟前; null上传了应助文件

3分钟前