Interpretable hybrid neural network for modeling and optimization of axial resistivity uniformity in Czochralski-grown silicon

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标题	Interpretable hybrid neural network for modeling and optimization of axial resistivity uniformity in Czochralski-grown silicon
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2026.128757
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2026.128757 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Jun Xiao; Jianping Wang; Qitao Zhang; Tai Li; Peilin He; et al 出版日期：2026-10-01
求助人	lgh 在 2026-09-20 13:29:18 发布自陕西，悬赏 10 积分
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