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Fabrication of 3-D light concentrating microphotonic structures by anisotropic wet etching of silicon 相关领域
材料科学
制作
光电子学
蚀刻(微加工)
硅
各向异性
光学
光子晶体
光子学
纳米技术
图层(电子)
医学
替代医学
物理
病理
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10.1117/12.2610426
doi
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| 其它 |
期刊: 作者:Grant W. Bidney; Boya Jin; Lou Deguzman; Thomas C. Hutchens; Joshua M. Duran; et al 出版日期:2022-02-17 |
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