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 Fabrication of Multiheight Microneedle Electrode Array Using Combination Process of Reactive Ion Etching 相关领域
制作
蚀刻（微加工）
反应离子刻蚀
电极
材料科学
光电子学
过程（计算）
深反应离子刻蚀
纳米技术
计算机科学
化学
医学
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物理化学
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替代医学
图层（电子）
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Kyeong-Taek Nam; Yong-Kweon Kim; Seung-Ki Lee; Jae‐Hyoung Park 出版日期：2024-09-23 |
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