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标题
Study on CoAl intermetallic compound films for advanced interconnect applications: Experimental and DFT investigations
用于高级互连应用的煤金属间化合物薄膜的实验和DFT研究
相关领域
材料科学 电阻率和电导率 微观结构 溅射 透射电子显微镜 粒度 散射 薄膜 扫描电子显微镜 基质（水族馆） 金属间化合物 晶界 沉积（地质） 复合材料 凝聚态物理 纳米技术 光学 地质学 古生物学 工程类 物理 沉积物 电气工程 海洋学 合金
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111528
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111528 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Kyeong‐Youn Song; Jin Soo Lee; Young‐Jun Lee; Minwoo Cho; Hoon Choi; et al
出版日期：2022-09-24
求助人
oli 在 2025-12-25 22:58:33 发布自贵州，悬赏 10 积分
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