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 Mode transition of inductively coupled plasma in interlayer chamber 层间室中电感耦合等离子体的模式跃迁
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期刊：Acta Physica Sinica 作者：Du Yin-Chang; Jinxiang Cao; Jian Wang; Zhe Zheng; Yu Liu; et al 出版日期：2012-01-01 |
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