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Near Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Magnesium Oxide Using Bis-3-(N,N-dimethylamino)propyl Magnesium(II) and Water 使用双-3-(N,N-二甲氨基)丙基镁(II)和水的近室温原子层沉积氧化镁
相关领域
原子层沉积
镁
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期刊:Journal of the American Chemical Society 作者:Florian Preischel; Karl Rönnby; Lukas Mai; David Zanders; Detlef Rogalla; et al 出版日期:2025-08-25 |
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