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标题
Atomistic Insights on Surface Quality Control via Annealing Process in AlGaN Thin Film Growth
AlGaN薄膜生长中退火工艺表面质量控制的原子视角
相关领域
退火(玻璃) 材料科学 薄膜 光电子学 宽禁带半导体 热稳定性 纳米技术 复合材料 化学工程 工程类
网址
DOI
10.3390/nano13081382 doi
其它 期刊:Nanomaterials
作者:Qing Peng; Zhiwei Ma; Shixian Cai; Shuai Zhao; Xiao‐Jia Chen; et al
出版日期:2023-04-16
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langyu 在 2025-12-06 09:34:22 发布自福建,悬赏 10 积分
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