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标题
Selectively patterned Mg-doped GaN by SiNx-driven hydrogen injection
SiNx驱动氢注入选择性图案化Mg掺杂GaN
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0002029
AI链接 osti.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1116/6.0002029 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Hyunsoo Lee; Mohammad Wahidur Rahman; Darpan Verma; Violet M. Poole; Roberto C. Myers; et al
出版日期：2022-10-21
求助人
无私的青槐 在 2025-12-06 10:37:39 发布自贵州，悬赏 10 积分
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