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 A study of the microhardness and scratch and abrasion resistance of silica‐like coatings deposited from TEOS and HMDSO on polycarbonate by AP PECVD TEOS和HMDSO在聚碳酸酯上沉积的类二氧化硅涂层的显微硬度和耐磨性研究
相关领域
六甲基二硅氧烷
材料科学
压痕硬度
等离子体增强化学气相沉积
聚碳酸酯
磨损（机械）
复合材料
化学气相沉积
图层（电子）
刮擦
化学工程
微观结构
纳米技术
等离子体
物理
量子力学
工程类
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期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Anastasia S. Bil; Sergey Alexandrov; А. Д. Бреки; A. L. Shakhmin; Anastasiya Speshilova 出版日期：2023-09-28 |
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