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标题
Plasma-enhanced atomic layer deposition of crystalline GaN thin films on quartz substrates with sharp interfaces
尖锐界面石英衬底上等离子体增强原子层沉积晶体GaN薄膜
相关领域
材料科学 石英 微晶 无定形固体 X射线光电子能谱 透射电子显微镜 图层（电子） 光电子学 杂质 原子层沉积 分析化学（期刊） 薄膜 纳米技术 结晶学 化学 复合材料 化学工程 冶金 色谱法 工程类 有机化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002639
DOI
10.1116/6.0002639 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Sanjie Liu; Yangfeng Li; Qing Liu; Jiayou Tao; Xinhe Zheng
出版日期：2023-08-31
求助人
莫石榴 在 2025-12-04 20:08:06 发布自湖北，悬赏 10 积分
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