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 The role of plasma in plasma-enhanced atomic layer deposition of crystalline films 等离子体在等离子体增强原子层沉积晶体薄膜中的作用
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：David R. Boris; Virginia D. Wheeler; Neeraj Nepal; S. B. Qadri; Scott G. Walton; et al 出版日期：2020-05-18 |
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