Thin‐Film Piezoelectric‐On‐Silicon Resonators: A Comprehensive Review

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标题	Thin‐Film Piezoelectric‐On‐Silicon Resonators: A Comprehensive Review 硅基薄膜压电谐振器综述
网址	https://doi.org/10.1002/admt.202501772
DOI	10.1002/admt.202501772 doi
其它	期刊：Advanced Materials Technologies 作者：Jianlin Chen; Yufeng Wen; Chen Lin; Shuaishuai Zhang; Jianliang Ding; et al 出版日期：2025-11-28
求助人	sndurehfcn 在 2025-12-17 17:35:53 发布自湖南，悬赏 10 积分
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