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标题
Examining strategies to control gel-like defects in EUV patterning materials
相关领域
极紫外光刻 光刻胶 抵抗 薄脆饼 材料科学 聚合物 纳米技术 共聚物 复合材料 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2614019
DOI
10.1117/12.2614019 doi
其它 期刊：
作者：Shunji Kawato; Kozue Miura; Jinhwan Ahn; Jonghoon Kim
出版日期：2022-04-22
求助人
lilli 在 2026-01-05 09:41:04 发布自北京，悬赏 20 积分
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