Wet Cleaning of Cross-Contamination of High-k Dielectrics in Plasma Etch Tool - 科研通

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标题	Wet Cleaning of Cross-Contamination of High-k Dielectrics in Plasma Etch Tool 等离子体刻蚀工具中高k介质交叉污染的湿法清洗相关领域氢氟酸污染电介质材料科学半导体湿法清洗晶体管蚀刻（微加工）接受者微电子光电子学分析化学（期刊）化学工程化学纳米技术冶金环境化学电气工程图层（电子）生态学生物凝聚态物理有机化学电压工程类物理
网址	https://doi.org/10.1149/1.2337088
DOI	10.1149/1.2337088 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Viraj Pandit; H.G. Parks; Bert Vermeire; Srini Raghavan 出版日期：2006-01-01
求助人	认真子默在 2025-12-03 14:39:31 发布自山东，悬赏 10 积分
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