Diffusion-reaction modeling of atomic layer etching

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标题	Diffusion-reaction modeling of atomic layer etching
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005041
DOI	10.1116/6.0005041 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Jaehong Kwon; Joseph R. Vella; David B. Graves 出版日期：2026-01-09
求助人	欢喜竺在 2026-09-27 22:45:35 发布自山西，悬赏 10 积分
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