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 Numerical and experimental investigation of the effect of side injectors on the deposition rate near the wafer edge during atmospheric pressure chemical vapor deposition 相关领域
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Ba-Phuoc Le; Wei-Jie Lin; Jyh-Chen Chen; Chieh Hu; Chun-Chin Tu; et al 出版日期：2023-12-23 |
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