The electrical asymmetry effect in capacitively coupled radio frequency discharges – measurements of dc self bias, ion energy and ion flux

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标题	The electrical asymmetry effect in capacitively coupled radio frequency discharges – measurements of dc self bias, ion energy and ion flux
网址	http://stacks.iop.org/0022-3727/42/i=9/a=092005/pdf
DOI	10.1088/0022-3727/42/9/092005 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：J Schulze; E Schüngel; U Czarnetzki 出版日期：2009-04-16
求助人	安好在 2026-05-17 18:33:13 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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