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 Two-dimensional model of a capacitively coupled rf discharge and comparisons with experiments in the Gaseous Electronics Conference reference reactor 电容耦合射频放电的二维模型及其与气体电子会议参考反应堆中实验的比较
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期刊：Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics 作者：Jean‐Pierre Boeuf; L. C. Pitchford 出版日期：1995-02-01 |
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