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标题
Intrinsic stress of magnetron-sputtered niobium films
磁控溅射铌薄膜的本征应力
相关领域
材料科学 溅射 微观结构 复合材料 压力(语言学) 溅射沉积 极限抗拉强度 偏压 喷丸 冶金 薄膜 分析化学(期刊) 电压 残余应力 化学 纳米技术 电气工程 有机化学 工程类 色谱法 语言学 哲学
网址
DOI
10.1016/0040-6090(79)90549-2 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:C.-T. Wu
出版日期:1979-11-01
求助人
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