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 Physical and electrical characterization of PAI implant energy’s impact on multi-Vt SoC device performance PAI注入能量对多Vt SoC器件性能影响的物理和电学表征
相关领域
材料科学
表征（材料科学）
植入
兴奋剂
光电子学
CMOS芯片
电压
MOSFET
电气工程
纳米技术
晶体管
医学
工程类
外科
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Ming Tian; Kun Chen; Chen Wang; Qingqing Sun; David Wei Zhang 出版日期：2023-07-31 |
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Akim
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