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Physical and electrical characterization of PAI implant energy’s impact on multi-Vt SoC device performance

材料科学表征（材料科学）植入兴奋剂光电子学 CMOS芯片电压 MOSFET 电气工程纳米技术晶体管医学外科工程类

作者

Ming Tian,Kun Chen,Chen Wang,Qingqing Sun,David Wei Zhang

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2023-07-31 卷期号：166: 107754-107754 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2023.107754

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