发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Artificial intelligence process control: deep reinforcement learning for Ga2O3 wafer production
人工智能过程控制：Ga2O3晶圆生产的深度强化学习
相关领域
薄脆饼 材料科学 工艺工程 计算机科学 过程控制 金属有机气相外延 纳米技术 人工智能 过程（计算） 外延 工程类 操作系统 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2668706
DOI
10.1117/12.2668706 doi
其它 期刊：
作者：Sarah Constantin; Matthew Putman; Valerie Bordelanne
出版日期：2023-03-16
求助人
冷傲新柔 在 2025-08-11 11:31:28 发布自浙江，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Investigation of carbon incorporation in laser-assisted MOCVD of GaN
  2. Design and Control of a Vapor-Phase Conventional Process and Reactive Distillation Process for Cumen...
  3. Epitaxial Growth of n-Type 4H-SiC on 3" Wafers for Power Devices
  4. Decomposition and Uniformity of Material Gases in GaN MOVPE
  5. Absolute surface energies of semipolar planes of AlN during metalorganic vapor phase epitaxy growth
  6. Growth of GaAs epitaxial layers prepared in the laboratory with an integrated safety MOCVD system
  7. A Continuous Epitaxial Growth of Silicon by Passing Wafers through a Stational Reactor
  8. Intelligent optimal control of the raw slurry producing process in the alumina production
  9. Rapid Thermal Processing Strategies for Highly Uniform and Repeatable Process Results on Patterned W...
  10. Epitaxial growth of GaN on sapphire substrate by LP-MOVPE
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    小二郎 小二郎 Lv11 上传了文件

    待审核 124220L.pdf (192 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    11:31:30 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    11:31:28 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献
    11:31:28 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    冷傲新柔 冷傲新柔 Lv51 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Faily完成签到，获得积分10
刚刚
2秒前
诗梦完成签到，获得积分10
4秒前
玉梅发布了新的文献求助10
5秒前
berrr0923完成签到，获得积分10
6秒前
Gzq发布了新的文献求助10
7秒前
Kelly飞啊完成签到，获得积分10
8秒前
勤劳的颤完成签到 ，获得积分10
11秒前
berrr0923发布了新的文献求助10
12秒前
Kelly飞啊发布了新的文献求助10
13秒前
huangsi完成签到，获得积分10
15秒前
酷波er的应助被核桃采纳，获得10
17秒前
香蕉觅云的应助被核桃采纳，获得10
17秒前
桐桐的应助被核桃采纳，获得10
18秒前
雨渺清空完成签到 ，获得积分10
19秒前
21秒前
李某某发布了新的文献求助10
23秒前
su完成签到，获得积分10
23秒前
25秒前
钲张完成签到，获得积分10
26秒前
刚睡醒发布了新的文献求助30
26秒前
27秒前
28秒前
共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10
29秒前
充电宝的应助被科研通管家采纳，获得30
29秒前
ffw1完成签到，获得积分10
30秒前
黄靖发布了新的文献求助10
31秒前
果果完成签到 ，获得积分10
31秒前
典雅君浩完成签到，获得积分10
33秒前
33秒前
zhangzhang发布了新的文献求助20
33秒前
银子吃好的完成签到，获得积分10
33秒前
加油干完成签到 ，获得积分10
34秒前
34秒前
superllq完成签到，获得积分10
34秒前
35秒前
蓝风铃完成签到 ，获得积分10
37秒前
神樂彩兔完成签到，获得积分10
38秒前
曹曹发布了新的文献求助10
38秒前
云开发布了新的文献求助10
38秒前
高分求助中
(禁止应助)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Polymer Database求助有偿 1500
International Code of Nomenclature for algae, fungi, and plants (Madrid Code) (Regnum Vegetabile) 1500
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 820
Византийско-аланские отно- шения (VI–XII вв.) 500
Improvement of Fingering-Induced Pattern Collapse by Adjusting Chemical Mixing Procedure 500
The Netter Collection of Medical Illustrations: Digestive System, Volume 9, Part III – Liver, Biliary Tract, and Pancreas, 3rd Edition 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4180110
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3715498
关于积分的说明 11713240
捐赠科研通 3396363
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1863399
邀请新用户注册赠送积分活动 921679
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 833386
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通