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 Contact holes in vertical electrode structures analyzed by voltage contrast-SEM and conducting AFM 电压对比扫描电子显微镜和导电原子力显微镜分析垂直电极结构中的接触孔
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期刊：Current Applied Physics 作者：Minseon Gu; Moon Seop Hyun; Moonsup Han; Gyungtae Kim; Young Jun Chang 出版日期：2023-06-10 |
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